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详细说明：
G100C质量流量控制器特点
l 高精度、高分辨率控制
l DC 9-36V宽电压供电
l 低功率，功率＜2W
l 集成40种基础气体种类
l 可自定义10种混合气体
l 控制参数自整定功能
l 数字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式
l 宽流量量程范围
l 无需预热
l 无安装方向限制
l 具有高重复性和高可靠性
l 采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快
l 自带温度补偿，补偿范围0-50℃
l 内部闭环控制，具有高稳定性
l 小封装尺寸
量程及精度简介
l 可用量程：
n 最大0-20slpm
n 最小0-10sccm
n 常备量程请参考选型表
l 量程比：100:1
l 满量程精度：±0.5%
l 读取精度：±1%
l 可重复性：±0.5%FS
l 响应时间：＜100ms（调节PID控制参数可缩短响应时间）
数字式设计简介
G100C系列质量流量控制器标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用标准的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485总线最高可扩展至255台设备同时使用。
应用领域
l 气相和液相色谱仪
l 半导体工艺
l 环境监测设备
l 微反应装置及材料制备实验装置（CVD）
l 气体发生器
l 配气混气系统
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